電子グレード プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
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電子グレードのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA):主に半導体製造のフォトリソグラフィ工程で使用される、無色透明で揮発性の液体有機溶剤。 フォトリソグラフィ工程では、PGMEAは現像液希釈剤および半導体デバイス表面の残留物や汚れを洗浄する洗浄剤として使用されます。
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製品の説明
PGMEA
電子グレードのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA):無色透明で揮発性の液体有機溶剤で、主に半導体製造のフォトリソグラフィ工程で使用される。 フォトリソグラフィ工程では、PGMEAは現像液希釈剤および半導体デバイス表面の残留物や汚れを洗浄する洗浄剤として使用される。
CAS番号: 108-65-6
製品仕様
製品名(Product Name) | 電子グレード プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート (PGMEA) | ![]() |
分子式 (Formula) | C6H12O3 | |
分子量 (Formula weight) | 132.16g/mol | |
外観 | 無色の液体 | |
濃度(Shoka) | ≥ 99.9% | |
含水率(Water Content) | ≤ 0.05% | |
グレード | G4、G5 | |
包装 | 0.5L、4L、20L、200L |
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