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レジストの役割

レジストの役割

フォトレジストは光増感化学作用 (あるいは電子エネルギーに敏感) を持つ高分子ポリマー材料で、紫外線露光や電子ビーム照射パターンを転写する媒体である。レジストの英語名はresistで、レジスト、光抵抗などに翻訳されている。レジストの役割は、レジスト層として基板表面を保護することである。レジストはイメージ的な言い方にすぎない。レジストは外観からゼリー状の液体を呈しているからだ。

09

2021

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