p-tert-ブトキシスチレン(pTBS)
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p-tert-ブトキシスチレン(pTBS):p-ヒドロキシスチレンの誘導体の一つで、KrFリソグラフィー樹脂に最も広く使用されているモノマーの一つであり、樹脂のカスタマイズのニーズに応えることができる。
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製品の説明
p-tert-ブトキシスチレン
p-tert-ブトキシスチレン(pTBS):p-ヒドロキシスチレンの誘導体の一つで、KrFリソグラフィー樹脂に最も広く使用されているモノマーの一つであり、樹脂のカスタマイズのニーズに応えることができる。
CAS番号: 95418-58-9
製品仕様
製品名(Product Name) | p-tert-ブトキシスチレン(pTBS) | ![]() |
分子式(Formula) | C12H16O | |
分子量(Formula weight) | 176.25g/mol | |
外観 | 無色の液体 | |
純度(Purity/GC) | 99.5%以上 | |
重合禁止剤 | カスタマイズ添加 | |
含水率(Water Content) | 0.05% | |
金属含有量 | ≤ 1ppb | |
有機物(TOC) | N/A | |
陰イオン | N/A | |
パッケージ | 5L、25L、200L |
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