レジストの長所と短所レジストの危害と防護

公開日時:

2023-11-29

1.精度が高い。フォトレジストは、チップ表面にマイクロメートルレベルのパターンを形成することができ、非常に高い精度と安定性を持っています。 2.適用範囲が広い。レジストは、シリコンウエハ、ガラス、セラミックなど、さまざまな種類のチップ材料に適用できます。 3.加工速度が速い。レジストは短時間でチップ表面の加工と処理を完成でき、生産効率が向上した。しかし、レジストにもいくつかの欠点があり、主に以下の点を含む

一、レジストの長所と短所

フォトレジストは、チップ製造における重要な材料として、以下の利点を有する:

1.精度が高い。フォトレジストは、チップ表面にマイクロメートルレベルのパターンを形成することができ、非常に高い精度と安定性を持っています。

2.適用範囲が広い。レジストは、シリコンウエハ、ガラス、セラミックなど、さまざまな種類のチップ材料に適用できます。

3.加工速度が速い。レジストは短時間でチップ表面の加工と処理を完成でき、生産効率が向上した。

しかし、レジストにもいくつかの欠点があり、主に以下の点を含む

1.コストが高い。レジストの製造と加工過程は複雑で、コストが高い。

2.環境に一定の汚染がある。レジストの製造と加工過程は一定の汚染物を発生し、環境に一定の影響を与える。

3、人体に一定の危害がある。レジストには一定の有毒物質が含まれており、人体に一定の危害がある。

二、レジストの危害及び防護

危害: レジストは乙類の危険物で、無色透明な液体で、わずかに芳香族エステルのようなにおいがある。高濃度の蒸気は目と気道を刺激し、常に吸入して腎臓に損傷があります。燃えやすく、火や高熱で燃えます。高熱に分解されて有毒なガスを放出する。その蒸気と空気は爆発性の混合物を形成することができて、一定の濃度に達すると、火星に出会って爆発が発生します。

救急措置: 蒸気を吸入した患者を汚染ゾーンから離脱させる。休憩して保温し、目が刺激されて水で洗い流し、目に飛び込んだ深刻な患者を病院で診察する。皮膚接触は溶剤で拭き、石けんで完全に洗う。誤服したらすぐにうがいをして、病院に連れて行って治療します。

消防方法:消防士は濾過式の防毒マスク (全面マスク) または隔離式の呼吸器を着用し、全身の防火防毒服を着用し、風向で消火しなければならない。できるだけ容器を火場から広々とした場所に移す。噴水は火場容器を冷やして消火が終わるまで保持する。火場にある容器が変色したり、安全圧力抜き装置から音が出たりした場合は、すぐに避難しなければならない。消火剤: 霧状水、泡、乾燥粉、二酸化炭素、土砂。

漏洩応急処置: 漏洩汚染区の人員を迅速に安全区から避難し、隔離し、出入りを厳格に制限する。火元を切る。応急処置者は自給陽圧式呼吸器を着用し、一般作業作業服を着用することを提案する。液体であれば、できるだけ漏れ源を遮断する。下水や排水溝などの制限的な空間への流入を防止する。少量の漏れ: 乾燥した土砂などで吸収する。大量漏れ: 堤防を構築したり、穴を掘ったりして収容する。泡で覆い、蒸気災害を低減する。防爆ポンプでタンクや専用収集器に移し、廃棄物処理場所に回収したり運んで処理したりする。固体であれば、乾燥、清潔、蓋のある容器に集める。大量に漏れた場合は、回収または廃棄物処理場所に運んで処理する。

操作上の注意事項: 密閉操作。密閉操作は、良好な自然換気条件を提供する。オペレータは専門的な訓練を受け、操作規程を厳格に遵守しなければならない。作業者には、自吸式フィルター式防塵マスクを着用し、化学安全防護眼鏡を着用することを推奨する。火種や熱源から離れ、職場では喫煙を厳禁する。防爆型の換気システムと設備を使用する。蒸気が作業場の空気中に漏れないようにする。酸化剤との接触を避ける。運搬時には軽装して軽く外し、包装や容器の破損を防止しなければならない。相応の品種と数量の消防器材と漏洩応急処置設備を配備する。空になった容器には有害物が残っている可能性があります。